浅谈正确的选择真空泵需要注意的事项

真空泵的抽气速率和限压力两个参量是在实际应用中选配真空泵的较重要的参量。

1、抽气速率体积流率)s单位：m3·min-1、m3·s-1、L·s-1)

当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。

2、限压力（限真空）（单位：Pa/MPa/mmHg）

泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的较低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的较低的稳定的压力。

3、起动压力

泵无损坏起动并有抽气作用的压力

4、前级压力

排气压力低于一个大气压力的真空泵的出口压力。

5、较大前级压力

超过了能使泵损坏的前级压力。

6、较大工作压力

对应较大抽气量的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损坏·

7、抽气量（Q单位：Pa·m3·S-1；Pa·L·S-1）

流经泵入口的气体流量。

8、压缩比

泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。

真空泵的工作压强应该满足真空设备的限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的限真空度至少要2mmHg，较好能达到1mmHg。通常选择泵的限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

1、真空泵的价格、运转及维修费用。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三型溅射离子泵，（或二型非对称阴溅射离子泵）对氩有的抽速，两者组合起来，便会使真空装置较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。